新型直流/脉冲微等离子体源

发布时间：2013-01-13 01:53:05 浏览次数：次

微型等离子体是指被限制在一个有限的空间范围内（尺寸在毫米级甚至更低）的等离子体。由于放电尺寸的大幅缩小，使之出现了以下一些特性：（1）微型等离子体可在大气压下工作。而常规等离子体只能存在于减压环境中。（2）微型等离子体的功率极低（在100 W 以内），工作中能够在一定程度上保留了分子的构成信息，可用于分子发射光谱分析。（3）微型等离子体体积微小，可实现多个微型等离子体源并联操作。（4）仪器、操作成本低，易于大量生产和使用。以上特性为其实现便携式/手持式操作和在线操作带来了得天独厚的优势。本实验室设计了其体积小、功率低、气体消耗量少的新型微等离子体源，可用直流/脉冲电源对其进行供电。该微等离子体在分子发射光谱中的应用已取得突出进展。今后的工作还将探索其在原子发射光谱中的应用、作为气相色谱检测器以及用于质谱离子源等。